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乾蝕刻濕蝕刻比較
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Chapter 9 蝕刻| PDF - Scribd
蝕刻 的定義• 移除晶圓表面的材料• 化學蝕刻, 物理蝕刻或是兩者的組合• 選擇性蝕刻或是整面全區 ... 基本濕式蝕刻製程步驟濕蝕刻旋乾 ... 乾式蝕刻和濕式蝕刻的比較.
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