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乾蝕刻濕蝕刻比較
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原子力顯微鏡微影技術之理論建立及實驗分析(3/3)
關鍵字:原子力顯微鏡微影技術、非等向性濕蝕刻、靜態氧化理論、有限差分法 ... 比較。在20%KOH 以及溫度50 Co. 下,當. 初始蝕刻速率 sec/6.11.
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