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乾蝕刻濕蝕刻比較
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淺析晶片的蝕刻清洗旋乾對晶片的影響 - 领英
濕蝕刻 的優點是生產速度快,生產成本低,生產設備成本低,但缺點是蝕刻時會有等向蝕刻現象,晶粒線路間隙太小無法蝕刻,環保問題也比較大.
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