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乾蝕刻濕蝕刻比較
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http://www.naipo.com/Portals/1/web_tw/Knowledge_Center/Research_Development/publish-67.htm
北美智權報第110期:TRIZ與半導體製程技術(二)
本案所討論的「乾蝕刻」(Dry Etching)技術是半導體元件製程的重要步驟之 ... 於濕蝕刻技術,本案中業界所謂的蝕刻選擇性,就是不同物質間蝕刻速率的 ...
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