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乾蝕刻濕蝕刻比較
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乾蝕刻技術
濕式蝕刻法. 乾式蝕刻法. 溼式與乾式蝕刻. 電漿. 蝕刻 ... 乾蝕刻(dry etching) ... 以讓人接受,所以應用比較廣,下圖是活性離子蝕刻系統的示意圖。 射頻電源.
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