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蝕刻技術

濕式蝕刻法利用化學溶液. 腐蝕晶圓上擬去除的材料. ，並在完成蝕刻反應後，. 由溶液帶走腐蝕物。這種. 完全利用化學反應的方法. 來進行蝕刻的技術有其先. 天上的缺點， ...

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