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蝕刻輪廓

選擇性蝕刻將IC光阻上的設計圖形轉移至晶圓表面層. 蝕刻輪廓 ... 蝕刻速率是測量在蝕刻製程中物質被移除的速. 率有多快的一種參數。 ... 濕式蝕刻的優點. • 高選擇性.

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