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「蝕刻升級篇」剖析干蝕刻和濕蝕刻的作用、製程及其原理

優點 ：設備費用低廉，製程單純且量產速度快等。 缺點：CD loss較大，不易將線寬控制得極為精準等。易有under cut現象。 相比之下， ...

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