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半導體元件物理與製程─理論與實務 - 第 216 頁 - Google 圖書結果

請簡述濕蝕刻(wet etch)與乾蝕刻(dry etch),並比較其優缺點。 8.何謂選擇比(selectivity)?其值是愈大愈好抑是愈小愈好?原因為何? 9.何謂 CVD?何謂 PVD?

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