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什麼是蝕刻(Etching)？ - Sherry's Blog

乾蝕刻 最大優點即是『非等向性蝕刻』(anisotropic etching)。然而，(自由基Radical)乾蝕刻的選擇性卻比濕蝕刻來得低，這是因為乾蝕刻的蝕刻機制基本上是 ...

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