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非晶矽薄膜電晶體液晶顯示器製造

採用Back Channel Etched 製程，在n+ a-Si 乾蝕刻 ... (3) 在PECVD 和蝕刻(etching) 製程上，增加製程 ... (poly-ITO) 做為透明電極層主要結構，其優點為片.

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