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反應式離子蝕刻機RIE - ishien vacuum 部落格- 痞客邦

反應式離子蝕刻機RIE（Reactive Ion Etching）介紹【蝕刻原理】 在半導體 ... 則是一種同時包含物理性與化學性蝕刻優點的方法，因此也成為蝕刻製程的.

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