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华林科纳总结出湿法刻蚀和干法刻蚀的优缺点_材料 - 搜狐

湿蚀刻 通常是各向同性的，这导致蚀刻剂化学物质去除了掩膜材料下方的基板材料。干蚀刻的一些优点是其自动化能力和减少的材料消耗。纯化学蚀刻 ...

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