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干法和湿法蚀刻-等离子蚀刻和湿法蚀刻的优缺点 - 知乎专栏

湿法刻蚀工艺的优点是设备简单，刻蚀速率高，选择性高。但是，有许多缺点。湿蚀刻通常是各向同性的，这导致蚀刻剂化学物质去除了掩膜材料下方的基板材料 ...

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