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應用於微微衛星之先進微型陀螺儀原型設計與製作

3.3 梳狀電容感測原理. 第4章微加速度計製程設計..... 5 .5 ....5 ......7 .9 ... 隨著MEMS 技術不斷地發展,應用此技術製造的微感測器陸續地在市面上銷.

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