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1~4G三軸加速度計與感測電路整合晶片

本論文是運用物理上的牛頓運動定律、虎克定律和電容基本原理等為基礎來設計加速度計的感測結構，並用靈敏度來衡量感測能力，為了便於製程上與電路整合，所以選擇電容式 ...

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