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可應用於微加速計之兩種對稱型懸吊結構研究Investigations of ...

對稱式懸吊配置，能夠使得帄面雙軸之彈簧係數即使受到製程尺寸誤 ... 小，表示其Z 軸靈敏度較高，適合用於三軸加速度計。 ... 表1-1 加速度計感測原理比較.

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