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三軸式壓電微加速度器之設計與系統建模 - 義守大學

效提升初始設計的輸出特性。 關鍵字：微感測器，壓電加速度計，三軸加速度，壓電薄膜。 ... 式（piezoelectric）等，以下將分別簡述不同偵測原理的加速度計感測元件。

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