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n-Si4H10 正矽丁烷 - 台灣特品化學股份有限公司

正矽丁烷n-Tetrasilane(Si4H10)之薄膜緻密度(Density)、沈積薄膜的平滑性(Smoothness)、連續性(Continuity)及摻雜兼容性(Dopants)皆比矽乙烷Disilane(Si2H6)高約數十倍 ...

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