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推导电容传感加速度计的传递函数 - 文库- 中电网

MEMS 加速度计中的主要阻尼机制之一是运动质量与周围空气分子之间发生的内部摩擦。 ... 在上面的等式中，点符号用于显示变量相对于时间的一阶导数。

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