[爆卦]etching製程是什麼?優點缺點精華區懶人包

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etching製程 在 BusinessFocus | 商業、投資、創科平台 Instagram 的最佳貼文

2020-10-08 01:45:38

【@businessfocus.io】一早估到自己會被美國制裁?日媒爆中芯年初開始瘋狂囤貨兼建共享倉庫 . 《日經亞洲評論》引述多個消息人士報道,為應對美國政府可能對中國晶片製造商中芯國際(981)展開的制裁,中芯正在囤積製造設備及關鍵替換零件。 . 報道指,中芯從美國、歐洲、日本的供應商購買的關鍵...

  • etching製程 在 北美智權報 Facebook 的最讚貼文

    2014-05-05 09:00:25
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    原子層蝕刻技術從實驗室走入晶圓廠


    延長摩爾定律的工作將越來越依賴高精密製程技術以製作出具有高品質薄膜表面的微小元件。在小於14奈米的技術節點中,電晶體的性能非常容易受到的製程變異的影響,會造成漏電流升高及電池耗電的現象。針對這些挑戰我們可以預期在未來的10年內,電晶體的柵極尺寸將低於50個原子寬度,特徵尺寸的變異將以原子等級的尺度測量,包括表面粗糙度的影響。原子層製程技術是最有機會達到這一精度等級的技術。原子層沉積(atomic layer deposition, ALD)在半導體產業中已經在生產線上存在了十多年。然而與其相對應的製程,也就是原子層蝕刻技術(atomic layer etching, ALE)卻難以成熟,原因在於它的生產能力還不足以達到所需的成本效益,此外商業化的設備系統也還沒有推出市場。本文我們將提出一種以商用電漿反應器開發的電漿增強ALE,可提供原子級的精準度並適合大量生產的元件製程技術......

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