束磊晶系統所使用的三種材料源蒸鍍速率精準的量測與定義,用以判斷所需成長 ... 80nm XRD Bragg 繞射圖譜. 58. 圖4.6. 30nm 薄膜於不同基板溫度的XRD. 59. 圖4.7.
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