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碩士論文鐵鈀薄膜之微結構與奈米機械性質研究 - 義守大學

The XRD results show that FePd thin films are predominant (111) ... 2-6-3 奈米壓痕之基本原理. ... 較寬廣。圖2-2 為XRD 原理圖，圖2-3 為X 光繞射儀示意圖。

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