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高解析X光繞射分析儀(HRXRD) - MA-tek 閎康科技

XRR是利用XRD反射圖譜經由curve fitting，可得到薄膜厚度、表面與介面的粗糙度，以及薄膜的電子密度等資訊。 Q4. XRR 分析樣品有何限制? A. 各層膜厚需介於2nm~200nm ...

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