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化學分析電子能譜儀(ESCA) - 國立清華大學貴重儀器使用中心

... 真空系統≦6.7×10 -8 Pa; Energy resolution (能量解析度)≦ 0.5eV at Ag 3d 5/2 peak; analysis area (分析面積)≦ 10μm~1400μm; image(分析影像) ≧10μm ...

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