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微電子純銅表面氧化層整合分析之研究Electrochemical and ...

XPS 縱深分析 結果顯示，圖5(a) E.P. Cu +. Oxi.1. 的表層無CuO 形成，表層氧原子濃度為. 40.45%，約在深度49.64nm 處 ...

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