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X光光電子能譜儀(XPS) - 國研院台灣半導體研究中心

系統主要分四個部份：(1)X-Ray：提供XPS分析之入射X光源；(2)能量分析器：分析由試片表面射出的光電子能量；(3)離子槍：用來清潔試片表面以及進行縱深成份分析；(4) ...

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