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XPS および AES 電子分光器の校正法に関する ISO 規格

ギー軸の校正法，すなわち，化学状態分析を想定した. XPS 分光器のエネルギー軸の校正，AES を用いた化学. 状態分析用の高エネルギー分解能の校正と，元素の定性.

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