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用XPS和AES对Pt-Co，Cu-Au和Cu-Ag合金膜进行定量表面 ...

然后，通过不同组成比的其他样品使用修正后的灵敏度因子，验证了AES定量分析的准确性，结果表明，校正后的相对灵敏度因子可以将AES定量分析的误差降低到10％以下。

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