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原子層沉積技術助力復雜納米結構的合成和精準調控取得新進展

通過材料化學成分（XPS以及Raman）⭐，顯微鏡觀察(TEM, ... GEMStar系列ALD系統廣泛應用於✅️高深寬比結構沉積，半導體微納結構制備，微納粉末包覆 ...

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