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如何利用表面分析工具，抓出半導體製程缺陷 - 科技新報

在一般材料分析應用中比較熟知的掃描式電子顯微鏡（SEM），主要目的是觀察 ... 另外在非導電的樣品表面，XPS 亦為極佳的分析工具，如IC 鋁墊周圍的 ...

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