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XPS(ESCA)の原理 - イビデンエンジニアリング
ピークの面積比により元素組成がわかります(半定量分析)。次にナロースキャン分析(特定元素が現れるエネルギー範囲を高分解能で走査)して、ピーク位置(化学シフト)とピーク ...
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