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XPS 超薄薄膜分析 - 台灣儀器科技研究中心

界面分析與厚度測量的原理及應用方法，包括了XPS 的基本表面分析原理、角度解析光電. 子分析技術，及薄膜厚度的 ... 的化學組成分布沒有明顯影響，但是Si(2p) 的圖譜.

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