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從SEMICON Japan 看相關半導體設備與精密機械發展現況

MTL此次展出的微型馬達，是目前全世界最小的μDD Motor，其大小約Ø6mm x 8.6mm(圖二)，其旋轉解析度可以達到1 arcsec(弧度秒)，而其應用現場則是展出用於 ...

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