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X光光電子能譜儀(XPS/ESCA) - iST宜特

XPS/ESCA原理就是藉由光電效應，當X光照射至樣品內部時，原子內層的電子將被激發產生光電子，而只有靠近材料表面的光電子才能逃離被儀器測得。

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