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X光射線光電子能譜儀(XPS) - 明志科技大學-電漿與薄膜科技中心

X 光射線光電子能譜儀(XPS) · X-ray光源：Al Kα Monochromator · 真空系統≦6.7×10-8 Pa · 能量解析度≦ 0.5eV at Ag 3d5/2 peak · 分析面積≦ 10μm~1400μm.

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