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機械工程學系- 碩士論文 - 國立交通大學機構典藏

對於砷和磷來說，隔離效應與掺雜原子種類、掺雜. 濃度以及晶粒大小有關。而對於硼掺雜的多晶矽薄膜來說，則無此問. 題[27]。 以不同掺雜濃度的 ...

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