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集成電路附屬裝備實現國產替代，這家設備廠商擬闖關科創板

... 系列（Chiller）、機器人系列（Wafer Sorter/AMR）、廢氣處理裝置系列（Local Scrubber）等專用設備，現已廣泛應用於半導體、LED、LCD等領域。

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