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12吋時代晶圓處理自動化技術前瞻 - CTIMES

為改良第一代EFEM的種種問題，目前已有晶圓廠自動化設備業者進行新一代EFEM之設計，並發現晶圓分類器（wafer sorter）也同樣存在第一代EFEM的缺點；晶圓分類器在機械 ...

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