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芯片光刻的流程详解- 晶圆制造 - 半导体行业观察

光刻原理意图. 光刻不是一个简单的过程，它要经历很多步骤：. 光刻的工序. 下面我们来详细介绍一下光刻的工序：. 一、清洗硅片（Wafer Clean）.

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