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芯片光刻的流程详解- 晶圆制造 - 半导体行业观察

A. 有机杂质沾污： 可通过有机试剂的溶解作用，结合超声波清洗技术来 ... a、预对准，通过硅片上的notch或者flat进行激光自动对准.

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