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半導體制造、Fab以及Silicon Processing的基本知識- 頁3

答：搜尋notch邊,使芯片進反應腔的位置都固定,可追蹤問題 ... 是一種感光的物質，其作用是將Pattern從光罩(Reticle)上傳遞到Wafer上的一種介質。

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