靜電力吸附式晶圓乘載盤模組Electrostatic Chuck簡稱ESC或靜電力吸盤ESC原理是藉由施加. 太陽之力, 堅硬岩石, 魂心, 隔音, 加速, 監視, 慢出, 持久力, 戰鬥切換, 靜電, ...
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