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wafer chuck中文
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固定&吸附元件(Chuck)簡介
近幾年因應薄脆材質如玻璃、IC/太陽能/LED晶圓產業需求,傳統的真空吸嘴/吸盤吸附力量集中在吸盤範圍,容易發生破片或因為吸力過大造成吸痕,業者開發使用 ...
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