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高密度電漿蝕刻系統 - 國立中央大學光電科學研究中心

儀器中文名稱：高密度電漿蝕刻系統; 儀器廠牌及型號：Unaxis / Nextral 860L ... Chuck X-Y Range：+/-6 mm; Chuck rotation range：+/-7 degree; Mask/Wafer ...

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