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靜電吸盤解決方案

基本原理與流程： 目前半導體晶圓製程多使用國外真空電漿系統，其中製程良率的關鍵之一，是靜電力吸附式晶圓乘載盤模組(Electrostatic Chuck，簡稱ESC 或靜電力吸盤)。

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