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開發半導體產業鏈之國產靜電力吸盤計畫

目前半導體晶圓製程多使用國外真空. 電漿系統，其中製程良率的關鍵之一，是. 靜電力吸附式晶圓乘載盤模組(Electrostatic. Chuck，簡稱ESC 或靜電力吸盤)。ESC 原理.

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