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【製程設備】總覽與收費標準 - 清華大學

(Anodic Bonder). 工三館後棟 ... 光阻與矽的蝕刻比大於25，以實現更小的線寬、線距，而達成高解析度製程之需求。 ... silicon to pyrex 7740 wafer anodic bonding。

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