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wafer arcing現象
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零基礎入門晶片製造行業---PVD - 每日頭條
一般wafer進入PVD機台,必須鍍上鈦/氮化鈦/鋁/鈦/氮化鈦. ... 答:電流在鋁金屬層移動時,鋁原子會沿著晶粒界面而移動,若此現象太過劇裂,會導致金屬 ...
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