RW 系列手臂支援掃片功能,選配Mapping. Sensor 即可讓手臂在進行取放片前偵測晶. 周盒內部的晶圓或基板是否有疊片、斜片. 的狀態,提供使用者相關數據進行手臂取. 放動作 ...
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